【摘 要】
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本文论述了压电陶瓷的基本工作原理及其特性、驱动方法等,并设计了压电陶瓷迟滞特性的开环测量方案。光学平台的稳定性是一项基本要求,在测量过程中应进一步调整,以及光电接
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本文论述了压电陶瓷的基本工作原理及其特性、驱动方法等,并设计了压电陶瓷迟滞特性的开环测量方案。光学平台的稳定性是一项基本要求,在测量过程中应进一步调整,以及光电接收放大器的设计。运用共焦腔干涉原理对PZT的迟滞特性进行了实验调试,得到的电压——位移特性曲线,通过大量实验操作验证了测量的可行性。并结合实验分析了PZT压电陶瓷产生迟滞非线性的成因。对PZT采用过度驱动的方法,经过多次反复调节、多次振荡调节、多个周期的电压来回变化。采用衰减的方式进行加压、减压控制,得到精密位移控制曲线。
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