微接触印刷(μCP)过程分析

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微接触印刷油墨转移过程中弹性印章的形变问题和材料表面自由能直接影响到印刷线条的清晰度、连贯性和均匀性。分析这些影响因素并加以控制可以改善微接触印刷的印刷效果,为微电路制作提供简洁、高效、低廉的生产方式。本文采用弹性力学变分解法中基于最小势能原理近似计算的瑞利-里茨法从理论上分析弹性印章受力形变的影响因素,得出了印刷压力、印章尺寸、弯曲刚度等因素共同影响的弹性印章弯曲形变模型。选用不同配比的TiO2纳米颗粒与PDMS混合,并以10:1的比例加入交联剂制作弹性印章,通过拉伸实验研究了TiO2纳米颗粒比例对弹性印章弹性模量的影响,得出添加TiO2纳米颗粒可以提高弹性印章弹性模量的结论,为改善弹性印章的弹性模量提供了简单有效的方法;TiO2纳米颗粒对印章热膨胀影响的实验证明了添加TiO2纳米颗粒可以降低和改善弹性印章的热膨胀。材料表面自由能理论分析了油墨转移过程的能量变化情况,从理论上得出实现油墨良好转移效果和铺展效果弹性印章、油墨和承印材料表面自由能应该满足的条件:粘附功越大,油墨的表面自由能越小,越有利于油墨的转移和铺展。以正十八硫醇为转移油墨,实验研究了印刷图案精细程度和达到稳定的时间随硫醇浓度的变化情况,表明了降低硫醇浓度降低硫醇浓度可降低其表面自由能,从而增大转移率和增强在基底表面的铺展效果,有利于硫醇自组装单分子层的形成,得出了降低浓度可以提高硫醇转移效果和铺展效果的方法。
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