厚膜钢基板功率电阻器技术研究

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近年来,以不锈钢为基板的厚膜集成电路及相关材料的研制取得了长足的进步,在此基础上成功地研制出了不锈钢基厚膜电阻元件。不锈钢基厚膜电阻元件具有功率密度大、体积小、便于安装及抗振动等诸多优点,使得其应用研究不断深入。论文以不锈钢为基板,设计并制备了数控机床用某一型号制动电阻,研究了其过载能力、绝缘性能及制动性能。此外,论文研究了热处理对Ag-Pd、钌酸铋、钌酸铜三种不同材料体系厚膜电阻元件的阻值、电阻温度系数的影响和热存放对电阻元件阻值一致性的影响。 设计制备的数控机床用制动电阻性能指标为:过载能力7倍额定功率,ΔR≤±1%R,绝缘电阻13MΩ,耐电压1700V,泄漏电流0.4mA,电阻温度系数TCR=1500ppm/℃,电压系数VCR=-1300ppm/V,且满足制动要求。 热处理实验结果表明:热处理可改善厚膜电阻元件电性能,Ag-Pd电阻元件最佳热处理工艺为210℃保温130h,钌酸铋电阻元件最佳热处理工艺为150℃保温50h,钌酸铜电阻元件最佳热处理工艺为180℃保温50h。 热存放实验结果表明:低阻值电阻元件阻值变化率大,随着元件阻值的增大,阻值变化率减小;300℃存放1000h比70℃存放1000h阻值变化率大。
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