论文部分内容阅读
本实验利用AlN为原料,针对低温烧结温度范围750-850℃选择CaO-Al2O3-B2O3-SiO2-CaF2(CABSF)和CaO-Al2O3-B2O3-SiO2(CABS)两种铝硼硅酸盐玻璃为烧结助剂,进行Al N/玻璃复合材料的低温烧结及性能研究。采用真空烧结法系统研究玻璃含量、AlN粒径、烧结温度、Al2O3添加剂对烧结致密行为的影响,分析了复合材料的介电性能和热学性能变化,并初步探讨了AlN/玻璃复合材料的烧结机理。研究内容及结果如下:(1)以CABSF玻璃为烧结助剂,低温烧结制备CABSF/AlN复合材料。研究了烧结温度、CABSF玻璃添加量、AlN粒径大小对CABSF/AlN复合材料的低温烧结影响:在真空条件下800℃烧结,CABSF玻璃/AlN复合材料中CABSF添加60wt%时烧结最为致密;CABSF添加量低于60wt%时,随着CABSF添加量的减少,复合材料的烧结性能降低,内部孔隙逐渐增多,介电常数减小,介电损耗增大;复合材料中玻璃添加量过多,在真空条件下容易产生大量孔隙。氮化铝粒径大小影响玻璃/AlN复合材料的性能,当氮化铝粒径为2um时,获得的AlN/60wt%CABSF复合材料性能最优,其介电常数为5.261,介电损耗为7.239×10-3,热导率为2.46W/m.K,热膨胀系数与硅匹配。(2)以CABS玻璃为烧结助剂,低温烧结制备CABS/AlN复合材料。研究了CABS玻璃添加量对CABSF/AlN复合材料的低温烧结影响:CABS玻璃/AlN复合材料随着CABS玻璃含量的增加,复合材料的烧结性能逐渐提高,介电常数减小,介电损耗增大。在真空条件下800℃烧结,CABS玻璃/AlN(2um)复合材料中,CABS添加60wt%综合性能达到最优,其介电常数为3.95,介电损耗为7.026×10-3,热导率为2.1W/m.K。(3)为了改善铝硼硅酸盐玻璃/AlN复合材料的烧结性能,研究了Al2O3添加剂对玻璃/AlN复合材料的低温烧结影响:AlN(5um)/60wt%CABSF/Al2O3复合材料在Al2O3添加量为5wt%时,烧结性能达到最优。Al N(2um)/60wt%CABSF/Al2O3复合材料随着氧化铝的添加,烧结性能先提高后降低;Al2O3添加量为2wt%时,烧结性能改善。AlN(2um)/60wt%CABS/Al2O3复合材料随着氧化铝含量的增加,烧结性能先提高后降低;Al2O3添加量为2wt%时,烧结性能改善。另外,氧化铝的添加有助于改善玻璃/AlN复合材料的介电性能,随着氧化铝添加量的增加,Al N/60wt%铝硼硅酸盐玻璃/Al2O3复合材料孔隙率虽有所增加,但介电损耗逐渐减小。(4)本实验中,铝硼硅酸盐玻璃/AlN复合材料的烧结为无反应液相烧结。铝硼硅酸玻璃/AlN复合材料的热导率受到AlN含量和致密度的共同影响,复合材料的热导率主要表现出非晶的热导特性,而AlN的热导率在复合材料中也有所体现。