【摘 要】
：
本论文的主要实验内容是在ITO玻璃衬底上利用等离子增强金属有机化学气相淀积-Ⅱ系统制备氧化镁薄膜材料及氧化锌半导体薄膜材料。实验中通过改变生长时的氧气流量和温度条件
论文部分内容阅读
本论文的主要实验内容是在ITO玻璃衬底上利用等离子增强金属有机化学气相淀积-Ⅱ系统制备氧化镁薄膜材料及氧化锌半导体薄膜材料。实验中通过改变生长时的氧气流量和温度条件,分析了生长条件的改变对氧化镁薄膜材料在表面形貌及光学透过率及电阻率等方面的影响。在制备出较高质量的氧化镁半导体薄膜材料的基础上,在其上同样利用MOCVD方法生长了氧化锌半导体材料,制备了ITO/MgO/ZnO/Al底栅型薄膜晶体管器件,并对器件的输出特性曲线及转移特性曲线等进行了电学方面的测试经过大量实验,我们获得了性能稳定的TFT器件,我们所制备的ZnO-TFT器件透射率在90%以上,满足液晶显示器的要求,开/关电流比为103量级,阈值电压为2.5V,迁移率达可到11.57cm2/Vs。
其他文献
目的:探讨噪声对铆工和试飞员听力的影响。方法:用整群抽样的方法在某飞机厂抽取703名飞机制造工人(其中铆工工人522名和试飞工人181名),进行现场卫生学调查和听力测试。结果
本文从理论和实验两个方面研究了亚波长直径液芯光纤的光学传输特性、制备及应用。首先我们从理论上系统计算了该种光纤的传播和模场特性,包括传播常数、电场分布、弯曲损耗
农村环境的日趋恶化会对国家社会经济的可持续发展造成巨大的危害。为了推进我国农村环境建设的进程,本文根据我国农村环境问题的现状,分析当前我国农村环境保护中立法和执法
从词汇的外延意义和内涵意义两个方面概述词汇文化内涵的特征,指出教师在教学中要重视词汇文化内涵的输入。结合教学实践,探究在初中英语词汇教学中培养学生文化意识的策略。
排球运动是一项需要队员之间高度协同配合的集体运动项目。在竞争日趋激烈的现代高水平排球比赛中,运动员之间的技战术、体能的差距越来越小,要想取得比赛的胜利,运动员心理
在45nm甚至更小的工艺节点下,传统的SiO2栅氧化层介质厚度已减薄至原子尺度范围,电子的直接隧穿效应将导致栅介质的泄漏电流急剧增大,器件可靠性随之下降。这严重阻碍了器件
本文研究了基于LTCC技术的宽带带通滤波器的设计方法,针对高频电路设计的需要,在三维电磁仿真软件HFSS中建立了LTCC集总电容电感结构模型,分析得出了它们的等效电路。采用HFS
功耗分析攻击技术是最常用的侧信道攻击技术之一,由于其便于实现并且攻击效果比较好,功耗分析攻击得到了广泛的研究和应用。功耗分析攻击的基础思想是通过分析功耗曲线,获得
利用光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、俄歇电子能谱分析仪和拉剪实验,研究了不同的热处理加热温度和保温时间对钛-钢爆炸复合板界面组织特征和性能的影响。热处理
目的研究新生儿胎盘中印记基因H19和胰岛素样生长因子Ⅱ基因（IGF-Ⅱgene）mRNA的表达,探讨印记基因H19和IGF-Ⅱ与出生体质量的关系。方法收集无妊娠期并发症及无胎盘脐带异常的