随着IC制造工艺、超精密加工、精密仪器及生物医学工程等众多领域的不断发展，对定位精度的要求也越来越高，因此近年来，大行程精密定位技术-直是精密工程领域的研究热点之一。目前，在提高精密工作台定位精度上采取的常见办法是提高机械运动和控制系统的精度，对环境因素给定位精度带来影响的研究还不多见。 研究环境因素对定位精度的影响，主要涉及到两方面的内容：环境中对精密定位工作台的定位精度产生比较大的影响的因素和建立补偿模型。本文的研究也是从这两方面展开，主要包括以下几点： 第一部分是介绍精密定位工作台的结构和决定工作台位置精度的精密光栅尺。阐述了精密定位工作台的工作原理及精密光栅尺的测量原理，并对本课题采用的海德汉光栅尺进行了误差分析。对光栅尺的数据采集系统的实现做了说明。 第二部分描述了精密定位工作台位置发生的漂移现象，通过实验采集数据比较和分析环境中各种因素变化对定位工作台的定位精度产生的影响，认为温度是导致发生位置发生漂移的原因。 第三部分建立精密定位工作台的热膨胀模型，分析了工作台在不同固定方式下温度变化对定位精度的影响，给出了基于温度精密测量的定位工作台定位精度实时补偿方法。 第四部分使用Testo公司的精度为0.03℃的温度传感器对精密定位工作台的温度实时测量，同时对工作台行程上的多个点的光栅读数进行采集，基于温度对光栅的数据进行补偿实验，补偿后的偏移量平均值与原偏移量平均值的绝对值之比不超过为27％，取得了较为理想的结果，并验证了温度是造成位置漂移的主要原因。 最后在总结当前工作的基础上，对本课题的后续工作提出了一些需要改进和完善的地方。