新型锂离子电池隔膜的等离子体制备

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本文采用等离子体增强化学气相沉积的方法在锂离子电池用微孔聚丙烯隔膜表面沉积氧化硅,对隔膜进行表面改性。研究等离子体(Ar,O_2)放电处理和氧化硅涂层对隔膜的热性能、表面润湿性、机械性能,抗电解液腐蚀性和电性能的影响,以期提高隔膜的热稳定性和锂离子电池安全性。实验采用电容耦合等离子体源(CCP),13.56MHz的射频电源用于产生等离子体。以挥发性的六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,O_2为反应气体,Ar为辅助放电气体沉积氧化硅薄膜。通过傅里叶红外光谱(FTIR)表征所制备的氧化硅薄膜的成
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