基于WBS-RBS与FTA耦合的半导体工厂设备安全管理研究

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随着SA公司生产规模的扩大,设备数量不断增加,设备类型也变得更加复杂,由此造成了设备安全管理工作的难度指数性提高。近些年来,设备安全事故经常发生,严重影响了公司的健康发展,SA公司需形成一套高效、完整、切实可操作的设备安全管理体系。本文在SA公司现有设备安全管理体系的基础上,提出了对设备全生命周期中每个环节分别进行风险识别、评价、控制等的风险管理改善体系。本文在构建改善体系后,以氢气储罐检修为例,结合专家调查法、风险评价指数矩阵法等,分析得到“氢气着火”、“储罐爆裂”为Ⅰ级不可接受的风险;采用WBS-RBS法对风险源进行了全面的辨识。依据以上分析,建立了以氢气着火、储罐爆裂为顶事件的两个故障树。利用定性分析法,分别得出了引起氢气着火的8个基本事件、引起储罐爆裂的6个基本事件;通过定量分析计算出氢气着火、储罐爆裂发生的概率分别为59.5%、35.2%;通过定量分析计算得到基本事件的关键重要度(敏感系数),并选择关键重要度大于0.1的,如:“静电导出失效”、“氢气流速过快”、“压力浓度控制不当”、“监控测量不当”、“人员穿戴不满足防静电要求”等基本事件作为关键因素,进行专项的分析并给出了控制措施。最终风险处于可控范围内,检修工作安全、有序、顺利的完成。
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