随着航天技术、微电子技术以及精密与超精密加工与测量等学科的逐步发展,对于所需产品的精度要求越来越高,对仪器的抗振性和动态稳定性的要求也越来越高。大型超精密制造设备、高精度测试测量设备、大型精密实验装备等等都建立在隔振基座之上,而气浮隔振平台具有很好的隔振效果,因此气浮平台的隔振技术是当前研究的一项关键课题。传统的被动隔振只能依靠台体自身的隔振效果来抑制噪声,对于一些要求台体振动速度更小、固有频率更低的精密实验不能满足要求,因此在此引入了主动隔振技术。本课题便设计了一种采用音圈电机作为主动作动器的主动控制方法,实现隔振系统的低振动速度和低固有频率。课题的主要研究内容如下,首先根据隔振系统的功能要求,设计相应的主动隔振单元的机械结构,并针对所设计的静压气浮结构中气室的气压、体积和承载面积等物理因素对系统的刚度和阻尼等系数进行公式推导,建立其物理模型。建立六自由度运动学模型并推导分析,得出音圈电机对隔振平台各位置传感器的影响。其次,建立主动隔振系统模型,设计并分析了静压气浮初步定位、精确定位以及主动控制三方面的控制策略,并着重对隔振的主动控制方法进行研究与研究。最后本隔振系统采用隔振性能最佳的复合反馈PID控制。再次,根据复合控制方法,设计一种低频高增益线性放大器,利用数据采集模块采集振动信号,根据所编写控制程序计算输出信号驱动音圈电机,抑制振动信号。最后,对主动控制隔振平台进行实验分析。对所设计振动信号调理电路进行频响测量实验,在输入与输出信号之间具有优良的频响特性。对隔振系统采用主被动控制时的隔振效果以及定位精度进行测试,气浮隔振平台施加主动控制后振动速度达到15.2μm/s,比被动控制降低了42.6%;振动加速度有效值(均方根)由476μm/s2减小到了228μm/s2,比被动控制减小了52.1%;固有频率达到1.625Hz,比被动控制降低了40.9%;定位精度达到±4μm,比被动控制提高了33.3%。