大功率射频电源是射频CO₂板条激光器的重要组成部分。本论文主要研究射频CO₂板条激光器的电源系统,对它激式射频电源的原理和电路参数进行分析与设计,借助EDA仿真软件对模块进行了仿真设计。对电源进行了负载特性测试。内容包括以下几方面:（1）分析自激式与它激式电子管电源及固态电源的特点,选择它激式电子管电源作为500W射频板条激光器的激励电源。在它激式射频电源总体结构的框架下,进行了射频电源的总体电路设计。包括电路的具体组成部分及技术参数。（2）本论文设计300W功放模块,由晶振产生一个微弱的微瓦级射频信号,经过一级BJT高频150mW晶体管放大电路,再接10W MOS管放大电路,后接300W推挽MOS管放大电路进行三级放大。利用multisim仿真软件对各级放大电路进行仿真,确定工作参数。（3）设计8KW电子管放大电路。根据FU-113F四级电子管的工作曲线,从中取出一些典型点,通过MATLAB的数值计算功能,建立FU-113F四级电子管的PSPICE模型。然后根据具体的要求进行综合设计,最后进行仿真分析。（4）论述功率控制与检测原理,最后进行整机实验。包括假负载实验,激光器负载实验,研究其功率输出特性。本论文对它激式射频电子管电源进行了详细的理论分析与实验研究,希望对射频板条CO₂激光器的发展做出贡献。