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基于回廊耳语模式(whisperinggallerymode，WGM)的微谐振腔具有超高的品质因数和很小的模式体积，在集成光学、医药、探测等领域均有着重要的研究价值和应用前景。因此，它一直都是研究的热点。本文从标准的圆形结构出发，计算和讨论了5种变体结构的硅材料WGM微谐振腔。
本文针对光通信和太赫兹(THz)两个波段，详细阐述了标准的圆盘形结构和其他变体结构的WGM微谐振腔。我们采用时域有限差分(Finite-differencetime-domain，FDTD)法计算了其耦合系数、谐振频率、模场分布和品质因数等基本特性，并得出优化的腔结构。
在光通信波段，通过改变输入、输出波导和微谐振腔的几何形状，本文计算了5种变体结构的WGM微腔。基于FDTD算法，我们计算了其耦合系数、模场分布以及品质因数等，得到了一种输入波导弯曲的优化圆盘形结构。对于跑道形WGM微盘谐振腔的优化结构，其单次耦合系数可达5％，品质因数高于2000。
在THz波段，通过FDTD模拟，本文讨论了大尺寸微盘结构的WGM微谐振腔。其中，微腔的半径在100μm量级，微腔与传输波导的间距在1μm量级。这就使得制作工艺上对精度的要求有所降低。分析得知，当工作波长为80-120μm时，对于r=150μm、g=1.0μm的微腔结构，获得的耦合系数大约为50％；在光通信波段时，r=2.5μm、g=0.2μm的微腔获得的耦合系数约为4％，因此，THz波段大大提高了单次耦合效率。