【摘 要】
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金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)技术是制造化合物半导体超薄型膜材料的先进方法.化合物半导体材料在激光技术、卫星通信、全球定位系统等领域,具有重要的用途.高纯金属有机
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金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)技术是制造化合物半导体超薄型膜材料的先进方法.化合物半导体材料在激光技术、卫星通信、全球定位系统等领域,具有重要的用途.高纯金属有机化合物(即MO源)是MOCVD技术的关键支撑材料.该论文主要进行了以下三部分的工作:1、高纯异丙基碲和高纯二甲基镉的研制.2、高纯二茂镁的研制.3、3、高纯三甲甸的配合物纯化.
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