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Parylene C膜(聚氯代对二甲苯,简称PC膜)具有优异的防潮、防霉、防腐、防烟雾以及电绝缘、物理机械、光学和生物相容等特性,广泛应用于半导体、传感器、微电子器件和材料防潮保护等领域。然而,在对透湿性能要求更高的应用场合,PC膜还是难以满足要求,需要进行改性或复合其它涂层,以提高其对水蒸汽的阻隔性能。但是,由于PC膜的表面能低,很难在其表面涂覆附着力优异的无机阻隔材料,而现有的表面改性法,如化学表面氧化、等离子体处理、紫外辐照等方法可以用来提高PC膜的表面能,但都会不同程度地损伤PC膜,影响其原