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球面光学元件疵病检测软件设计
【摘 要】
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光学元件是光学系统中的最基本单元,其质量的优劣直接影响着光学系统的性能。作为衡量其质量的重要因素之一的表面疵病因此备受关注。光学元件的表面疵病对光学系统危害极大,特别是在高能激光系统中甚至会导致系统瘫痪。目前对疵病检测的研究主要集中在平面元件领域,而球面检测因为技术难度高,研究成果相对较少。本文介绍了几种常用的疵病检测原理,以及软件开发环境和开发过程中用到的关键技术。基于显微暗场散射成像原理下的球
【机 构】
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西安工业大学
【出 处】
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西安工业大学
【发表日期】
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2020年03期
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