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热释电焦平面是一种非致冷、低成本的凝视型红外成像器件,具有如下优点:全红外波段工作,无需制冷,成本低,便于维护,可小型化,可长期稳定工作,具有与量子型焦平面相竞争的灵敏度。在众多的材料中,Ba1-xSrxTiO3(BST)是一种性能优良的铁电材料,BST 的居里温度可以通过对Ba/Sr 的比例进行调节,适当组分的BST 材料的居里温度在室温附近是制作非制冷红外焦平面阵列的理想材料。本文采用溶胶-凝胶法,对制备适合应用于非制冷红外焦平面阵列的BST 薄膜材料进行了研究。