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微波滤波器作为现代通信系统必不可少的元件,广泛应用于移动通信、雷达、卫星定位与导航、电子对抗、无线遥感等领域。随着电磁环境越来越复杂和频道越来越拥挤,有限的频谱资源已无法满足人们日益增加的需求。基于BST铁电薄膜的可调滤波器因其调谐速度快、体积小、与微电子工艺兼容且适应于多频道等优点而越来越得到重视。因此,本文设计并制作了一种铁电薄膜可调微带带通滤波器。研究内容和主要结论如下:1、采用射频磁控溅射在单晶蓝宝石基片上制备了BST铁电薄膜。针对基片与薄膜热膨胀系数不同,改进了薄膜的退火工艺,避免了薄膜表面出现微裂纹的现象。利用MIM电容结构,测试了BST铁电薄膜的C-V特性曲线,确定了BST铁电薄膜的介电常数为185.5,损耗小于0.02,介电系数可调率为45%等参数。2、根据教研室已有的微波器件设计经验和方法,得出滤波器的主要设计参数。设计了5阶梳状线带通滤波器,并采用平面电路仿真软件ADS和三维电磁场仿真软件HFSS对器件进行仿真。仿真结果显示其中心频率为900MHz,3dB带宽约为10%,带内插损小于2dB(不考虑薄膜介电损耗),带外抑制小于-50dB,中心频率附近电压驻波比小于1.25。3、研究了铁电薄膜可调微带带通滤波器的详细制备工艺流程,着重分析了光刻工艺图形化BST薄膜介质层和上电极的过程及电镀加厚的工艺过程中,工艺误差对器件性能的影响。在蓝宝石基片上成功制作出了可调带通滤波器,并封装测试。对比仿真结果,器件的中心频率偏移到1.15GHz,插损大于13d B,较设计有所偏大,其他性能满足设计要求。在10V和20V直流偏压下,器件的中心频率较未加电压时分别向高频方向移动了70MHz和180MHz,调谐率为14.6%。4、优化了器件的结构,研究了器件表面电磁场分布。利用原有结构,仅改变了调谐电容部分,就几乎消除了BST铁电薄膜的损耗对器件插入损耗的影响。运用器件表面电磁场的动态分布分析了产生该现象的原因。最后,研究了如何优化器件制作工艺以提高器件的性能。