光学微谐振腔拥有独特的光学传输模式—回廊模(Whispering Gallery Mode,简称WGM),以及超高的品质因数和较小的腔模体积成为探索非线性光学、腔量子电动力学等研究的有力工具,同时在光集成、光网络以及光量子纠缠态计算等信息领域有重要的潜在应用。光学微腔种类主要包括微球腔、微柱体以及平面微腔(平面微盘腔和平面环形微腔)。本文主要是讲述平面微环腔的研究,结合MEMS微结构工艺,设计、以及热处理完成高Q值光学微环腔的制作。并且通过搭建耦合系统实现其Q值测量。论文主要工作包括:1本论文首先选用二氧化硅材料制作平面微腔。首先采用热生长方法在(100)晶面的硅片上生长一层两微米厚的SiO2,然后进行涂胶、曝光;对二氧化硅层的刻蚀分别采用湿法刻蚀(HF/H2O溶液)和干法刻蚀(反应离子束刻蚀);对硅柱的刻蚀分别采用ICP刻蚀系统和XeF2刻蚀系统。最终得到微盘腔。2在制备了微盘腔之后,采用氢氧火焰熔融光纤制备微球腔的原理,针对微盘腔建立了激光回流的物理模型,推导出在激光加工过程中微盘腔表面某处的温度。通过ANSYS仿真了激光回流过程。3采用Diamond K-500型二氧化碳脉冲激光器和封离式二氧化碳激光器建立了激光回流加工系统。实验过程中两套加工光路来完成加工实验。对回流微盘腔过程中产生的热应力进行了拉曼测试,通过分析数据得到了适合的激光加工功率以及对应的热应力。4搭建了耦合测试微腔品质因素系统。采用FBT-200型纳米光纤拉锥机系统拉制出锥区在1μm -2μm的锥形光纤。简要的分析了影响微腔Q值的各个因素,利用搭建的耦合系统和AFM系统对回流前后的微腔进行Q值和粗超度测试,结果表明经激光回流后得到的微环腔降低了表面粗超度的同时又提高了微腔的品质因素。