【摘 要】
:
微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域。随着MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技术和IC(IntegratedCircuit)技术的
论文部分内容阅读
微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域。随着MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技术和IC(IntegratedCircuit)技术的飞速发展,把压力传感器及其信号处理电路集成在同一芯片上成为可能,并成为国内外的一个研究热点。 本文对单片集成化的微气压传感器进行了基础研究,用分立的集成芯片组建了一个SOC(System on a Chip)式微气压测试仪。该测试仪主要由微气压传感器、单片机以及显示器组成。本文设计的微气压传感器的制作工艺与集成电路工艺兼容,结构上主要包括加热电阻、敏感元件和测试电阻等三部分。其中,加热电阻采用恒功率的加热模式,敏感元件为基于IC工艺的集成温度传感器AD590。当气压在一定范围内变化时,加热电阻通过气体传递到AD590的热量将发生变化,从而引起敏感元件温度的改变,因而可以通过测量敏感元件的温度来测量气体的压力。考虑到系统的功能要求和低功耗原则,设计了以仪用放大器INA114为核心器件的信号处理电路,并用MSP430F135单片机控制整个测量过程,完成数据的A/D转换、测量结果的显示。为了实现计算机与测试仪的实时通讯,开发了基于LabVIEW语言的串口通信程序,以便更直观、实时地显示和分析测试数据。 本文采用分立集成芯片组建的微气压测试仪,实现了微气压的测试,为最终实现单片集成微气压传感器奠定了基础。
其他文献
一个朋友跟我说,他在日本留学期间,接触过许多日本青年,他们对中国的大熊猫都很喜爱,问他家里养了几只?从这个极其缺乏常识性的提问中,我想到了"陌生"二字。其实中日两国相距并
为比较不同品种小麦幼苗耐镉性生物学差异及幼苗不同器官镉吸收和积累情况,采用水培方法对13个小麦常见品种进行培育,研究100μmol/L镉胁迫下不同品种小麦幼苗的生长情况、不
摘要从江苏省泰州地区16个猪场采集40头腹泻仔猪的病料,通过细菌的分离培养、染色镜检和生化试验.共确定分离出38株大肠杆菌。动物试验显示其中26株对小鼠有致病性。药物敏感性
引言:随着我国现代化建设的不断推进,社会对于铁路运输的需求不断提升,而牵引电机是机车动力传递的重要组成部分,其工作运行的质量直接关系着机车的运行效率。众所周知,牵引
窄带物联网(NB-IoT)技术因具备广域覆盖、低功耗、海量用户接入的优点,成为当前广域物联网的主流技术,但单一的NB-IoT组网模式在某些极端功率受限环境(如水表井、地下车库等
网络演化博弈论作为经典博弈论的推广,为研究种群间互相作用的策略演化提供了理论框架.而策略演化动力学是网络演化博弈论中一个重要的研究课题.平均场理论与对估计方法等为
克罗恩病(Crohn′s disease,CD)是一种病因目前尚未明确的胃肠道慢性炎性肉芽肿性疾病,其病变多见于末端回肠和临近结肠,但从口腔至肛门各段消化道均可受累,病灶呈节段性或跳
<正> 2011年7月6日,Objet发布了Objet260Connex,为Objet的多材料3D打印机系列新增了一名成员。这款多材料3D打印机设计紧凑,且价格实惠。Objet260Connex采用该公司的专利喷墨
我国城镇化潜力巨大,是下一阶段促进经济社会持续发展和深化改革的强大动力与战略选择。推进新型城镇化应重点处理好政府与市场的边界,防止房地产价格上涨过快,切实增加建设
SARS疫情的突然爆发,使我国旅游业遭受重创,同时许多旅游企业在面对SARS危机时,显得茫然而不知所措。本论文立足于危机管理理论的阐述和对我国旅游业现状的分析,结合SARS疫情的特