移相器广泛应用于相控阵雷达、电子对抗、微波通信等领域,移相器的性能对整个系统的性能起着重要作用。传统的移相器具有尺寸大、功耗高、成本高等缺点,无法满足电子通信系统的快速发展。MEMS移相器具有高品质因数、高隔离度、低成本、低损耗、易于集成等优点,是现在国内外研究的热点。本论文主要以分布式MEMS移相器为研究对象,深入分析了MEMS移相器的移相单元即MEMS开关,对MEMS开关进行优化设计,电磁仿真及失效机理分析。主要内容有:1.介绍了MEMS移相器的分类和国外MEMS移相器的发展现状。2.对分布式MEMS移相器的工作原理进行讨论,并对影响分布式MEMS移相器的主要参数进行了分析。3.对MEMS开关的电路模型进行仿真分析,并对分布式MEMS移相器的布拉格频率进行仿真分析。4.对影响MEMS开关下拉电压的参数进行分析,设计MEMS开关模型并且进行了优化,在此基础上设计了五位移相器。5.对MEMS移相器的失效机理进行分析。