大尺寸EFG蓝宝石晶体生长设备控制系统研究

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蓝宝石晶体凭借着优良的物理、化学性能,在军事、工业、电子设备等领域都有广泛的应用。其中大尺寸的片状蓝宝石晶体常用作装甲车视窗的基材,目前国内针对大尺寸的片状蓝宝石晶体研究有限,多数仍然依赖进口。晶体生长炉作为制备晶体的设备,对蓝宝石晶体品质有着十分重要的影响。本文从等径控制为出发点,着力提高晶体生长设备的自动化程度。首先,全面分析掌握了各种常规蓝宝石晶体生长工作原理以及工艺特点,本文选择以生长大尺寸片状蓝宝石晶体的EFG(边缘限定薄膜供料提拉生长技术)方法作为重点,以晶体生长能量守恒定律和晶体生长等径控制原理为技术基础,研究等径控制策略。以LJB85型单晶炉为对象,对其中主要组成部分:提拉运动装置、提拉运动控制系统、上称重及温度控制系统等进行重点研究。从EFG工艺出发,设计了满足等径生长要求的晶体生长提拉运动装置,以此为对象完成了提拉运动控制系统设计研究。根据提拉运动功能要求,采用台湾永宏PLC作为电机控制器,联合伺服电机和伺服驱动器,以及合理的程序设计,保证提拉运动的精度。设计等径控制策略,以蓝宝石晶体的实际生长率和理论生长率作比较,二者数值不同从而调控温度的控径方法为基础,搭建上称重系统和温度控制系统的硬件平台,使用合理的接线方式进行设备之间的接线设计,并根据重量变送器的标准通讯协议和程序设计要求,使用C#.net进行上称重软件设计。最后搭建软件测试平台,使用水滴模拟蓝宝石晶体生长的实际过程,取得实验数据,绘制晶体理论生长率曲线,将实验结果与之比对,验证上称重软件的可靠性和等径控制方法的可行性。
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