采用偏振合束技术的高功率光纤耦合LD无致冷封装模块研究

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随着半导体激光器在泵浦激光器、塑料材料焊接、医疗、打标、夜视和制导等领域的广泛应用,对半导体激光器的光束质量、功率密度、亮度的要求也越来越高。高功率半导体激光器与光纤耦合可大幅度改善光束质量,使用更小芯径的光纤输出可相对提高功率密度,多个单管激光器合束能够实现高亮度输出。本文使用圆柱透镜对激光束快轴方向压缩,利用半导体激光器线偏振度高的特性,采用偏振分束器的逆光路,将两束准直后偏振方向正交的光束合成一束同一方向输出、空间位置相重合的高能量光束,再使用Zemax软件设计出合理的聚焦透镜参数,以满足聚焦光束的入纤条件。应用Ansys软件对激光器芯片进行热分析,热传导冷却模块采用芯片倒装的方式,使用硬焊料Au-Sn将芯片焊接到铜热沉上,封装方式为F-mount封装,设计出一种高功率半导体激光器无致冷封装模块。
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