随着我国经济的高速发展，电力行业也得到了迅猛发展。国内外都在积极研究和关注SF₆气体分解产物的检测以及GIS（气体绝缘组合电器设备）等高压设备出现的问题，来保证电网的可靠性、安全性。为了保障GIS等高压设备正常的运行，及早地判断GIS等高压设备可能出现的问题，需要对SF₆气体的主要分解产物进行检测，这点对电力系统的发展具有重要的现实意义。本文在实验室气相色谱检测这个传统判断方法的基础上，结合半导体高低温冷阱装置排除SF₆气体的影响且低温富集一些特征分解产物，使得这些特征产物的浓度达到检测的限值，为进一步探索和研究SF₆气体分解产物的检测迈出了一步。本文通过大量实验，确定了使用气相色谱仪器和半导体高低温冷阱的最佳实验条件，具体如下：安捷伦HP6890GC-μECD（Hewlett-Packard，USA）气相色谱仪；HP-PLOT/Q毛细管色谱柱（30m×0.32mm×20μm）；进样口温度为120℃；进样方式为分流进样（分流比5.0）；进样量为250μL；载气N2（99.9995％）；载气流速为1.5mL/min；尾吹气N2，流速为30mL/min；炉温40℃，以10℃/min的速率升温至120℃，保持2min；色谱工作站为HP3398A；冷阱冷却温度为-60±1℃；热解吸温度为50±1℃；载气（N2，99.9995％）压力0.2MPa，流量为20mL/min；十通阀的切换时间为65min。实验表明，在以上实验条件下，并未检测到SOF₂气体，且低温富集后的SO₂F₂气体的浓度仅为原气的1/10。