准分子激光具有输出波长在紫外和深紫外波段、输出功率大、输出脉冲宽度窄(ns)、光斑尺寸大等特点，在科研、医学、工业等领域有着重要应用。　　工业和医疗中的一些高端应用对准分子激光器件的性能提出了越来越高的要求，特别是要求能够实现高度的自动化和稳定可靠运行。控制系统作为准分子激光器的重要组成部分，需要在准分子激光强放电激励环境中稳定可靠工作，对控制系统的软硬件设计和功能优化提出了很高的要求。本文针对放电激励准分子激光系统进行了控制系统的优化设计工作。分析了准分子激光系统的电磁干扰分布，测量了放电激励系统电磁干扰强度和干扰源的特点;系统硬件设计采用全光纤隔离设计，用光信号传输数字量，并结合压频频压转换来进行高精度模拟量传输，有效隔离电磁干扰的传输;系统软件设计优化程序结构，充分采用各种冗余和保护措施，并基于LBVIEW开发了通用计算机环境下的人机交互系统，最终实现了放电激励电磁干扰环境下稳定可靠的准分子激光器控制系统。　　设计开发了一套准分子激光控制系统，并在一台储能21.6J、最大工作电压30kV的工业级准分子激光器上进行了调试和优化。在最强电场干扰14V/m、最强磁场干扰38A/m的条件下，系统正常稳定运行，实现各种控制功能，模拟信号传输误差小于2.5％，实现闭环能量稳定控制，达到稳定可靠和自动化运行的需求。