【摘 要】
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集成电路参数提取课题既有重要的应用前景同时在理论上也极具挑战性.它涉及到超大规模集成电路中互连参数提取与微波集成电路中无源元件分析这两大方面的内容.作为最常用的参
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集成电路参数提取课题既有重要的应用前景同时在理论上也极具挑战性.它涉及到超大规模集成电路中互连参数提取与微波集成电路中无源元件分析这两大方面的内容.作为最常用的参数提取算法之一,矩量法在应用中最主要的困难之一就是如何高效地获得精确、易用的闭式空域格林函数.围绕参数提取这一主题,在前人工作的基础上,该文对如何导出分层介质中的闭式空域格林函数进行了深入的研究,并将其与矩量法相结合应用于准静态电容参数提取和全波散射参数计算中.
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