【摘 要】
:
随着半导体技术代的快速发展,传统的SOC芯片设计逐渐变得无法制造,这个问题在铜互联技术中表现的尤为突出。本文针对铜互联工艺的几项关键技术,展开了相关的DFM基础研究,论文主要
论文部分内容阅读
随着半导体技术代的快速发展,传统的SOC芯片设计逐渐变得无法制造,这个问题在铜互联技术中表现的尤为突出。本文针对铜互联工艺的几项关键技术,展开了相关的DFM基础研究,论文主要包括以下内容:(1)光刻OPC建模和检验。利用光学仿真,得到传统照明条件和6%透射率的移相掩模板组合是最佳的双重曝光组合,实际的试验结果也与模拟相同。经过优化,光刻胶B在传统照明条件(248nm 0.68NA/0.5sigma)和6%透射率的移相掩模板组合的曝光条件下表现最为优异,其工艺窗口符合双重曝光需求,经过OPC修正后,各种不同Pitch下的线宽差异减小到+/-5nm以内,并且版图、OPC模拟图像和SEM照片完美重合,使得设计具备了可制造性,可以进行量产试验。(2)钨CMP工艺建模及检验。提出钨CMP时侵蚀的模型,该模型与试验数据能很好地吻合。赝侵蚀是该模型的重要概念。模型可用于指导CMP工艺中的关于凹陷和侵蚀的分析,由此减少工艺监控环节,降低成本。(3)铜CMP侵蚀模型研究。研究了铜化学机械抛光时的侵蚀现象,提出了相关数学模型,模型能解释不同的图形密度、设计规则对化学机械抛光后侵蚀的影响。
其他文献
青椒(Z Schinifolium Sieb.et.Zucc.)和花椒(Z Bungeanum Maxim.)是我国花椒的主要两个品种。两种花椒中都含有大量的麻味物质,青椒属于“清香麻味”,麻味后劲足,而红椒香味
金黄色葡萄球菌(Staphylococcus aureus)广泛分布于自然界中,因此,该菌很容易污染食品,严重的甚至会造成食物中毒;金黄色葡萄球菌也是引发临床性疾病的主要病原微生物,当前已有的常
我院自 1994年正式运转以来 ,参照和借鉴美国医院的管理体制和模式 ,并结合我国的国情和实际情况 ,对医院住院部床位实施统一调配 ,即医生开具住院证后统一到床位调配处安排
<正> 果树的田间试验统计分析是比较复杂的。由于果树本身的特点(多年生,树体大,且有些果树存在大小年问题)和受外界诸多因素的影响,某项处理对于果树的效应,很难在当年正确
本文以新疆最具特色的手工艺产品“艾德莱斯”为研究对象,从色彩、工艺、图案、文化等方面对艾德莱斯的形式美展开深层次、多视角的研究,再通过实地考察,应用图像分析、分类比较
风力发电是目前新能源开发技术最成熟、最具有大规模开发和商业化发展前景的发电方式。可以改善当地电力系统的能源结构,实现电力供应得多元化,提高电网中可再生能源发电的比
日本现存最古老的和歌集《万叶集》汇集了六、七世纪的上自日本天皇及贵族,下至下层官吏,戍边将士的4500余首作品。《万叶集》可以说是在中国文学的巨大影响下成立的,可从中
起毛剪毛机是一种织物后处理设备。起毛加工就是将织物表面纤维露出来以增加织物的厚度,通过柔软化使其手感得到改善并增强保温性能,起毛直接影响到织物的风格和质量。本文在
党的十九大报告对新时期党建工作提出了全新的要求,这对进一步促进高校学生党建工作的发展有着极其重要的指导意义。认真学习与理解党的十九大有关治党管党的系统性论述,增强
2012年,山东设计学研究成果呈现出快速增长的良好态势,申报或在研的各类课题项目增多,尤其是关于高等设计教育实践教学改革的相关研究成果较多。同时,由于设计学科实践性与应