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电致变色器件（Electrochromic devices,ECDs）在智能窗、显示、军事等领域具有广阔的应用前景。ECDs的基本结构包括:透明导电层I、电致变色层、电解质层、离子存储层以及透明导电层II。目前ECDs中的透明导电层主要采用In2O3:Sn（ITO）薄膜,ITO电阻低、透过率高,但铟元素为稀有元素价格昂贵,提高了ECDs成本。并且ITO柔韧性差,不耐弯折,限制了柔性ECDs的开发和应用。介质/金属/介质（Dielectric-metal-dielectric,简称DMD）结构薄膜由于其透过率高、电阻率低、柔韧性好、生产成本低等优点,是一种较为理想的透明导电薄膜。我们前期的研究发现,采用具有电致变色功能的材料为介质层,可以构筑兼具透明导电和电致变色双重功能的DMD薄膜,实现高性能的刚性ECDs。鉴于柔性ECDs研究的重要意义以及存在的问题,本文在前期工作的基础上,以获得高性能柔性ECDs为目标,采用经典电致变色材料MoO3作为介质层,Ag作为金属层,构建集电致变色和透明导电功能为一体的MoO3/Ag/MoO3（MAM）薄膜。通过系统研究薄膜组成、结构和性质的关系,获得响应速度快、对比度高、着色效率高、稳定性好的刚性和柔性ECDs。主要研究内容如下:1.利用电子束蒸镀技术,在玻璃衬底上制备刚性MAM薄膜。采用理论模拟和实验验证相结合的方法,优化薄膜厚度,获得导电性优异和透过率良好的MAM（30/11/50 nm）薄膜,其面电阻仅为9.3Ω□-1,可见光（400800 nm）平均透过率为59.4%。同时,MAM表现出优异的电致变色性质。与ITO电极上的MoO3（50 nm）薄膜相比,MAM的着色效率更高（40.5 vs.23.6 cm2 C-1）、对比度更大（30.9 vs.20.4%,528 nm）,且循环稳定性较好。为进一步获得高性能柔性ECDs奠定基础。2.在柔性PET（Polythylene terephthalate）衬底上制备MAM薄膜,该薄膜具有较好的耐弯折性能和循环稳定性。MAM薄膜经2000次弯折,电阻变化较小（从12.5Ω□-1增大到26.7Ω□-1）,而PET/ITO/MoO3（50 nm）的电阻显著增加（从30.5Ω□-1增大到1134Ω□-1）。此外,PET/MAM薄膜的电致变色性能尤其是稳定性也明显优于PET/ITO/MoO3,柔性MAM的着色效率达到34.9cm2 C-1,对比度为27.7%,循环稳定性大于200次,耐弯折性能大于2000次。以上研究,为制备高性能柔性ECDs提供了新思路。