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自偏压对低气压射频氩气辉光放电影响的数值模拟
【摘 要】
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辉光放电等离子体技术工艺成本不高,并且与现阶段所提倡的环保理念相吻合。凭借着该技术所呈现出来的优点,它在许多工业领域内被广泛采用。例如在微电子领域中的半导体制作与加工、等离子体刻蚀、等离子体薄膜沉积,在材料表面改性以及医疗、化工、环保等其他领域皆有应用。相比于在大气压和高气压的情况下,辉光放电等离子体在低气压条件下更容易产生。但是低气压条件下辉光放电产生等离子体是非常复杂的非线性物理过程,其物理机
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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大连理工大学
【发表日期】
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2019年01期
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