化学沉积稀土多元钴基软磁薄膜结构和性能的研究

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本文采用正交实验和回归分析的方法,确定了稀土化学沉积Co-Ni-B-RE、Co-Fe-B-RE多元钴基软磁薄膜的工艺流程、镀液配方和实验参数,并通过对合金镀层的成分含量测定、形貌结构分析和力学磁学性能评估,研究了稀土元素、超声波、磁场介入化学沉积多元钴基软磁薄膜工艺后,对合金成分、结构和性能的作用机制。结果显示化学沉积Co-Ni-B、Co-Fe-B工艺在稀土元素(Ce、La、Y、Dy)、能量(超声波、磁场)介入后,沉积过程、合金成分、镀层形貌结构和性能都有显著变化,表现在:镀液的阴极极化过电位和极化
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