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本文首先对类金刚石膜和TiN系列超硬膜两种多功能涂层的性能，制备及检测手段进行了综合性的描述。在此基础上，采用直流磁控溅射在多晶硅表面沉积了类金刚石的C膜，通过改变沉积基体的温度，溅射功率，沉积气压等实验参数，使得到的C膜呈现出不同的表面形貌；采用多弧离子镀，通过改变沉积的气氛，不同靶材之间的转换的方法，在不锈钢表面分别沉积了TiN／TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC三种多层膜。利用原子力显微镜(AFM)，X射线衍射仪(XRD)，扫描电镜(SEM)，显微硬度测量仪以及拉伸试验对膜的组织、结构、性能进行了性能检测分析，得到以下结果： 1．工艺参数对直流磁控溅射沉积DLC的表面形貌有明显影响。(1)基体温度越高，DLC膜的表面粗糙度越大，原因是温度的升高增加了C原子表面扩散的能力，表面扩散趋向于生成含高sp~2键结构更接近热力学更加稳定的石墨结构。石墨结构越多，表面越粗糙；(2)溅射功率升高，表面粗糙度降低，原因是当植入离子的能量大于原子的剥离能时，使进入亚表面的C原子增多，表面扩散不易进行，能量波耗散在内部相对大的体积内，同时增加了溅射消移的效果，表面光滑，反之，如果植入的能量达不到一定数值，将主要进行表面扩散，粗糙度增加；(3)沉积气压升高，表面粗糙度增加，这与沉积气压升高增加了入射粒子的碰撞，从而降低了粒子的入射能量有关。 2．TiN/TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC三种多层膜体系都形成了强烈的(111)面织构。TiN／TiAlN／TiN有最高的硬度，TiN／TiAlN次之，TiN／TiNC最低。这个结果符合E.Bemporad等人提出的模型。对于硬膜软基体体系，表面超硬层对整体的宏观力学性能(抗拉强度和延伸率)没有影响。