【摘 要】
：
微纳制造技术在信息科学、生物医疗、航空航天等领域广泛应用,制作的微传感器、集成电路板给人们的生活带来诸多便利。激光直写技术作为微纳制作技术中的一条技术路径,可用于制作掩模版、各种复杂二维和三维器件。而GDSII文件是描述集成电路版图的通用格式文件,但鲜有如何使用激光直写系统刻写GDSII文件的研究。本文对GDSII文件如何应用到激光直写系统做了相关研究,主要做了以下工作:（1）提出了将GDSII解
论文部分内容阅读
微纳制造技术在信息科学、生物医疗、航空航天等领域广泛应用,制作的微传感器、集成电路板给人们的生活带来诸多便利。激光直写技术作为微纳制作技术中的一条技术路径,可用于制作掩模版、各种复杂二维和三维器件。而GDSII文件是描述集成电路版图的通用格式文件,但鲜有如何使用激光直写系统刻写GDSII文件的研究。本文对GDSII文件如何应用到激光直写系统做了相关研究,主要做了以下工作:（1）提出了将GDSII解析为激光直写系统可识别的点阵图的算法。算法包括读取并解析文件内容、计算文件包含的实际轮廓、确定文件的实际尺寸与边界、对轮廓内部区域填充等步骤。（2）提出了分区域对GDSII解析的算法。通过一次只解析一定范围的区域,分区域的直至所有范围解析完成,避免了当GDSII文件尺寸过大无法转换的问题。并确保了算法的完备性。（3）对激光直写系统的参数与刻写方式分析与优化,得到较好的GDSII文件刻写效果。通过实验确定振镜的合适控制参数,使用旋转校正修正了振镜坐标系与压电平台坐标系之间的角度误差,使用不同刻写区域间包含重合区域的方式避免了拼接处的裂缝。结果表明本文提出的可分区域解析的GDSII解析算法工作正常,使用的校正方法改善了大面积GDSII文件的拼接效果,为GDSII文件应用于激光直写系统提供了一种方法。
其他文献
我国是一个肝病大国,约有三亿人患有不同种类的肝病。肝纤维化是慢性肝病共有的病理改变,因此通过肝纤维化早期诊断对肝病进行提早预防是非常必要的。由于超声成像具有价格低廉、实时性好和无电离辐射等特点,超声检测技术已成熟应用到肝纤维化检测中。在诸多超声检测技术中,利用数学上的统计分布,来描述和模式化散射统计,从而进行超声背散射统计参数成像是一个新的趋势。本文在常规超声设备平台基础上,设计了一种基于超声背散
随着互联网技术以及社交媒体的飞速发展,图像、视频等视觉内容逐渐成为社交媒体中不可或缺的组成部分,利用计算机实现对图像情感的自动化分析越来越受到关注。现有工作主要致力于如何准确提取图像中的情感信息,这些方法在提升模型的视觉情感特征提取能力的同时也存在着局限性:专注于提取视觉特征层面的图像信息,而忽略了认知层面的情感关系信息。情感是一个主观、模糊的抽象概念,人类情感不只由低级的视觉内容决定,同时还受认
气体检测和监测是一个重要的研究领域。无论是大气质量的监测还是医学上用于疾病诊断或健康评价的人体内源性气体检测,都高度依赖于一种高精度、高灵敏、长寿命和快速响应的气体检测设备。燃料电池型气体传感器是一类新颖的气体检测器件,其具备体积小、成本低、灵敏性高、运行稳定、响应恢复时间短、耗能低和绿色环保等特点。传感层所选用的气敏催化剂是影响燃料电池型气体传感器的核心要素,然而,目前此类传感器最常用的纳米碳材
民营企业身份认同问题产生于中国经济体制改革过程中，阻碍了民营企业家精神的发挥和民营企业的健康发展。基于此，本研究以2009—2020年间上市时实际控制人为自然人或者家族的A股民营企业为研究样本，按照民营企业原始产权获取方式，将其划分为具有身份认同问题的国有转制型民营企业和不具有身份认同问题的创业型民营企业，对身份认同问题与企业创新之间的关系进行了实证分析。研究表明，民营企业身份认同问题抑制了企业创
金融和科技的深度融合有助于缓解小微和民营企业融资难、融资贵问题，进而促进民营企业增加创新投入、提升竞争能力。利用2011—2020年A股民营上市公司数据，对金融科技效应影响程度进行实证分析。研究发现，金融科技发展能显著促进民营企业创新投入，金融科技发展对民营企业创新投入的促进作用在东部地区和中小企业表现得更为明显。进一步分析表明，金融科技发展可以有效缓解企业融资约束，进而促进民营企业创新投入。
集成电路是当今信息技术领域的基础产业之一,随着集成电路设计规模的增大,功能验证作为集成电路验证中至关重要的一部分,其难度也日益增大。在使用激励进行功能验证,即动态验证时,覆盖率是衡量动态验证完整性的主要方法,即通过覆盖率的大小来衡量待测设计的正确性与控制动态验证进程。在实际中,当覆盖率达到某个覆盖标准时测试停止,然而测试只能暴露故障,而不能证明故障是否存在,这称为故障的存在性问题。近年来国内外学者
过氧乙酰硝酸酯（PAN）作为大气中光化学污染的第二大标志性污染物,几乎不存在天然源,其浓度与人类活动密切相关。为了对其进行研究,需要可靠稳定的测量。因此,研究PAN在线分析系统具有重要的意义。依托中国科学院生态环境研究中心的国基金项目“大气中PAN/CCl4/NOx在线分析仪的研制”,本文对气相色谱仪电子控制系统展开研究。该系统标定过程使用光化学合成法生成定量的过氧乙酰硝酸酯（PAN）定期对GC-
医学图像识别是医学图像分析的核心任务,目的是自动识别医学图像中的病灶位置,检测出病灶的状态属性,生成初步的诊断结果,它对于减少医生工作成本、提升诊断效率、降低误诊漏诊率有着重要的研究意义和应用价值。近年来,基于深度学习的医学图像识别受到了研究者的广泛关注,成为医学人工智能领域中的一项重要课题,如分类、检测、报告生成等任务。基于深度学习的脑CT图像识别是其中一个研究热点,但是由于脑CT图像具有空间分
现代工业生产过程中应用了大量仪表仪器来对生产状态进行监测,对一些关键性质量指标的测量对于监测和控制整个生产过程,实现科学高效生产,提高整体生产效率有着举足轻重的意义。在很多实际生产情况下,由于测量工序复杂、测量环境恶劣、测量耗时较长等原因,无法实时地获取关键质量变量的实际测量值,而生产过程中会存在一些易测量的过程变量,如温度、压力等。通过构建模型表征易测过程变量和难测质量变量之间的关系,可实现对质
目前,工业物联网的发展趋势为打造跳出图纸的全数字化互联网工厂,因此智能工厂需依赖在线表单收集数据来完成工业流程的运转。在表单的传统开发模式下,开发人员依据开发需求采用硬编码的方式构造表单页面,但是由于在工业过程中业务需求频繁发生变更,若采用传统方式开发则需要彻底改动底层固化代码,将造成返工量大的问题。因此从开发人员的角度出发,将程序写成依赖Excel表格的表单自动生成代码,将大大降低变更工作量。本