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近年来,微纳机电系统(MEMS/NEMS)在众多领域中都取得了十分广阔的应用,但由于系统尺寸的减小以及表面积-体积比的增大使得表面摩擦力成为制约其发展的重要因素。理论与实验研究都指出,在液体环境下,固液界面的表面电荷会形成双电层,双电层之间的作用力对微纳米尺度的摩擦有着重要的影响,但是目前研究普遍集中在摩擦副为同种材料的情况,对于不同材料构成的摩擦副的研究很少,而且有关表面电荷对界面微纳米尺度磨损影响的研究并不充分。针对以上问题,本文应用原子力显微镜(AFM)研究了液体环境下表面电荷对于不同材料构成