随着高精、高速自动化设备的发展,直线电机XY平台得到了越来越广泛的应用。直线电机比传统的交流伺服电机有诸多优点,如刚性高、响应快、高加速度和速度等。但直线电机体积大、质量大,使用柔性框连接方式组成 XY平台时比传统的交流伺服 XY平台双轴间的耦合和干扰大,影响平台的定位精度和整定速度,需要开发适合本平台的控制算法来满足平台的控制要求。　　本课题对柔性框结构的直线电机平台的控制算法进行了研究,以实现对平台的高精、高速控制。　　首先研究了工程上常用的前馈PID控制器,分析了前馈PID控制器的参数对控制性能的影响。在前馈PID的基础上对算法进行了改进,大大提高了定位增益,减小了平台的定位误差。由于定位增益的增大,系统出现振动噪音,本课题对振动噪音的形成进行了分析,并采用低通滤波器对振动音进行了很好的抑制。　　然后,对平台由柔性框变形干扰造成的定位误差大和直线电机平台双轴耦合造成的微小超调等问题进行了研究和分析,运用扰动观测器和模糊控制理论与前馈PID算法相结合,解决了柔性框变形干扰造成的定位问题和双轴耦合超调问题。