ZnO薄膜是一种纤锌矿结构的n型半导体材料，具有良好的电学和光学特性，广泛应用于表面声波器件、透明电极、太阳能电池材料、紫外探测器、气敏传感器、短波发光器件等方面。 制备ZnO薄膜的方法很多，有磁控溅射镀膜、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、脉冲激光沉积(PLD)、原子层外延(ALE)、喷射热解、溶胶．凝胶等方法。电沉积方法因其所需设备简单、成本低、易于工业化生产等优点，成为近年来研究的热点。 本文以Zn(NO<,3>)<,2>为主盐，采用恒电位电沉积法在导电玻璃表面制备氧化锌薄膜。分别研究了电压、温度、浓度、pH值和沉积时间对薄膜组成和表面形貌的影响。确定最佳实验条件为：电压-0.80V；温度50℃；主盐浓度1mol/L；溶液pH值在4～6之间；沉积时间为1h。制备出的纯净的ZnO薄膜，具有六方纤锌矿结构，结晶完整，呈现多晶态。将制备的ZnO薄膜做成气体传感器，检测对乙醇和CO的响应。结果表明该ZnO薄膜对这两种气体具有良好的响应灵敏度，可用作气体传感器材料。