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微定位机构是指行程小(一般小于毫米级)、精度高(亚微米级、纳米级)、灵敏度高的机构，它是精密机械和精密仪器的关键部件之一。它既可作为微进给和微调部件，也可作为工艺系统误差的静态和动态补偿部件。许多高科技领域都需要微定位技术的支持，压电微定位技术由于有诸多优点，正成为近年国内外的研究热点。 本文在深入分析研究了国内外微定位技术的基础上，研究了一种空间分布压电驱动的多自由度微定位新技术，完成了微定位工作台定位原理研究，建立了微定位工作台位姿控制模型。采用空间并列分布式压电驱动