光学陀螺仪是基于Sagnac效应,采用先进的集成光学技术研制的新型光学陀螺仪。研制光学陀螺仪的关键在于用频率调制来实现频率伺服,对主要误差进行有效抑制,实现高精度Sagnac频差测量。声表面波声光移频器正是解决上述技术关键的一个集成光学核心器件。针对集成光学陀螺对声表面波声光移频器的技术要求,本论文对氧化锌声表面波与硅基光导波声光移频器技术进行深入研究。根据声光互作用的一般理论,我们详细论述了硅基光导波声光移频器件的工作原理,设计了声光移频器的结构,确定了声光移频器参数,进行了器件的研制。器件驱动功率为1W,衍射效率10%,声工作频率200MHz,频移范围±300KHz。鉴于声光移频器制作工艺复杂,考虑系统单片集成的工艺性,该声光移频器以硅基二氧化硅为基片,采用Y分支矩形波导构成的马赫-曾德（Mach-Zehnder）光路,在其双臂集成由ZnO压电薄膜构成声表面波（SAW）叉指换能器。通过在SiO₂光波导上覆盖ZnO薄膜制成叉指换能器,从而得到良好的零温度特性和高的机电耦合系数。该方案提高了集成光路的稳定性、灵活性、增强了抗干扰能力。经计算,给出设计叉指换能器的各项参数。