基于横向PiN二极管固态等离子体微波特性研究

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一定条件下的固态等离子体具有类金属性,采用横向SPiN二极管构造的固态等离子体可重构天线,可同时实现频率与方向图重构且与微电子工艺兼容,是实现天线小型化和提升雷达与通信系统性能的有效技术途径,已经成为了国内外的研究热点。本文重点针对固态等离子体可重构天线应用,分析了横向PiN二极管工作方式、载流子微观输运机制以及固态等离子体产生机理,建立了描述固态等离子体基本特性的参数模型,揭示了电磁波在固态等离子体中的传输机制与特性,以及等离子体频率是固态等离子体的固有属性,固态等离子体浓度下限为1016cm-3,当浓度达到1018cm-3时,具有类金属性,可以用来制作固态等离子体天线。采用有效质量的修正方法,研究建立了固态等离子体介电常数、折射率、反射系数等关键电磁参数随电磁波频率和固态等离子体浓度的变化关系。仿真结果表明,介电常数的实部随电磁波频率变化不大,随着固态等离子体浓度的增加开始保持不变,当浓度达到1018cm-3后迅速下降,虚部随着电磁波频率的增加而下降,随着固态等离子体浓度的增加而增加;折射率的实部随着固态等离子体浓度的增加而增加,随着电磁波频率的增加而下降,虚部和实部的变化规律相同;反射系数随着电磁波频率的增加而下降,随着固态等离子体浓度的增加而增大;趋肤深度随着固态等离子体浓度的增加而下降,随着电磁波的频率的升高而下降。根据实际情况,考虑由于双极扩散和载流子之间的散射等非理想效应引起固态等离子体碰撞频率的改变,进一步对固态等离子体关键物理参数随电磁波频率和固态等离子体浓度的变化关系模型进行了修正,仿真结果表明,非理想效应下,各参数的变化趋势基本相同,但是介电常数、折射率和反射系数的值都会有所下降,介电常数下降约2-3个数量级,折射率下降约1个数量级,反射系数下降很小,而趋肤深度却稍有增加。在以上研究的基础上,设计并实现了固态等离子体SPiN二极管,优化了工艺实现方案,由该二极管设计了一款频率可重构偶极子天线,仿真结果表明,此天线可以在19.9GHz,14GHz,11.7GHz工作频率下切换,具有可重构特征,目前该天线已经制备完成,正在进行测试。
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