薄膜电解质，是全固态薄膜锂离子电池的重要组成部分，要求具有稳定性的同时，还必须有较高的离子电导率与较低的电子电导率。锂镧钛氧（LLTO）薄膜电解质，具有较高的离子电导率，但其电子电导率也很高，难以作为全固态锂离子电池的薄膜电解质材料使用。而锂镧锆氧（LLZO）薄膜电解质，由于其离子电导率较低，同样不适合作为薄膜电解质材料使用，但是，其优点在于具有较低的电子电导率。本文综合LLTO与LLZO薄膜电解质的优点，对LLTO薄膜电解质进行改进，在保证其拥有较高的离子电导率的同时，具有较低的电子电导率，使其能作为性能良好的薄膜电解质材料使用。合格的薄膜电解质材料，要求其离子电导率与电子电导率相差4个数量级以上。　　本文主要研究内容如下：　　（1）用固相烧结法制备锂镧钛氧（Li0.33La0.56TiO3）与锂镧锆氧（Li7La3Zr2O12）粉末，分别对两者添加过量的 Li来补偿高温烧结过程中的损失。通过将粉末烧结成陶瓷片，测试其离子电导率与电子电导率，得出制备粉末的最佳工艺。锂镧钛氧（Li0.33La0.56TiO3）粉末在 Li过量10％的时候性能最好，离子电导率最高，达到4.82×10?5 Scm-1，电子电导率最低，为6.88×10-7 Scm-1；对于锂镧锆氧（Li7La3Zr2O12）粉末，则是Li过量20%的时候性能最佳，离子电导率为5.65×10-7 Scm-1，电子电导率为5.88×10-10 Scm-1；　　（2）粉末靶材具有制备容易，寿命长等特点,本文首次使用锂镧钛氧（Li0.33La0.56TiO3）与锂镧锆氧（Li7La3Zr2O12）粉末靶材进行磁控溅射沉积薄膜。以粉末靶材为溅射源，并对溅射功率与热处理工艺对薄膜性能的影响规律进行了研究，制备出性能较好的LLTO与LLZO无定形薄膜电解质。其中LLTO薄膜电解质的离子电导率为3.68×10?6 Scm-1，电子电导率为4.21×10?7 Scm-1；而LLZO薄膜电解质，离子电导率与电子电导率分别为6.38×10?7 Scm-1和2.82×10?10 Scm-1；　　（3）利用 LLZO薄膜电解质电子电导率低的特点，首次使用双靶材共溅射的方法，在溅射沉积薄膜的过程中对 LLTO薄膜电解质进行改性提高，制备出Li-La-Ti-Zr-O无定形薄膜电解质，其离子电导率高达2.83×10?6 Scm-1，电子电导率却很低，为5.10×10?10 Scm-1，两者相差4个数量级，可以作为全固态薄膜锂离子电池的电解质材料使用。