近年来,由于微波射频通信的迅猛发展,可变滤波器在射频收发机、多带通信系统和宽频段雷达系统的频率控制上扮演越来越重要的角色。将MEMS(Micro Electroic Mechanical Systems)技术引入到可调滤波器应用领域,在保持了滤波器良好性能的同时,还可以有效地减小系统的体积、重量和功耗等。例如,在多标准的接收机中,可变滤波器能够显著地减少多频带应用中的模拟前端子系统的尺寸,并可动态地抑制大干扰信号。因此,MEMS可变滤波器将成为新一代无线通信系统,如高可调谐、低成本和低功耗的无线和卫星通信网络以及雷达、可调谐导航位置识别系统、灵巧武器自导装置的智能RF(Radio Frequency)前端的重要组成部份。本论文首先从微波传输线理论基础出发,研究了CPW(Coplanar Waveguide)结构的模型分析方法、传输特性,并介绍了经典滤波器的设计理论和设计方法；其次,本文研究了电磁带隙结构,从电磁场理论出发分析了EBG(Electromagnetic Band Gap)结构的原理,研究了CPW EBG结构的慢波、带阻特性,提出了等效集总电路参数模型；第三,本文以静电驱动型MEMS开关为例,分别分析了开关的静力学和电磁模型。根据MEMS开关的力学集总模型,推导了开关的驱动电压公式；第四,将RF MEMS开关应用在基于CPW上EBG结构的滤波器上,使得滤波器具有可变特性。通过全波仿真软件,运用有限元分析方法,分析了MEMS开关电磁模型及其滤波器的频率响应特性。最后,简单介绍了MEMS加工工艺,分析了RF MEMS可变滤波器制造的可能性,为今后设计制作可变RF MEMS微波滤波器指出了一个可行性的方向。