“NSAF基金”资助项目“基于在线电解修整的超精密磨削加工机理与优化控制技术”中W-Mo合金难加工材料因其高强度、高密度、高熔点和韧性好等特点,在国防军工、航空航天等领域以及民用高新技术中有广泛的需求,但其超精密镜面加工难以实现。被CIRP评价为“21世纪的超精密加工技术”的ELID镜面磨削工艺具有效率高、精度高、表面质量好及加工材料适应性广等特点,因此在该技术基础上研究W-Mo合金材料的超精密镜面加工工艺具有重要意义。　　 本文针对W-Mo合金材料进行精密超精密镜面ELID磨削和研抛加工实验研究,建立了一套完整的精密超精密镜面加工工艺系统,探索出适合该类材料加工特点的精密超精密镜面加工工艺;同时对ELID磨削设备关键技术进行研究,主要包括内容有以下方面:　　 (1)通过对W-Mo合金进行超精密ELID磨削加工,获得粗糙度Ra=20 nm的加工表面;再经过超精密研磨和抛光加工,得到了表面粗糙度Ra=12 nm的超精密镜面加工表面,总结出适合该类合金材料的精密超精密镜面加工工艺参数;　　 (2)分析了W-Mo合金材料表面加工质量的影响因素,并且从理论上研究了ELID磨削加工过程中电极间隙变化规律及其对被加工表面质量的影响,推导出ELID平面磨削和外圆磨削电极间隙变化公式及ELID磨削砂轮氧化膜厚度的动态变化公式;　　 (3)在现有的ELID电解装置基础上,设计了一套以PLC为控制核心,电涡流位移传感器为测量元件的自动定位控制系统,以减小ELID磨削加工过程中电极间隙变化对砂轮表面氧化膜生成质量的影响;　　 (4)设计在线检测砂轮径向跳动程序,砂轮径向跳动的检测对操作者设定合理的磨削参数,并根据主轴工作状态判断能否达到加工要求,对获得高质量的被加工表面具有很大的指导意义;　　 (5)在STEP7-MICRO/WIN V4.0软件平台上,编写电极间隙自动定位程序、砂轮径向跳动检测程序和TD200文本显示器数据模块,并通过S7-200软件对编写好的PLC程序进行模拟,验证程序的可行性和准确性。