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在现代通信系统中，微波铁氧体器件扮演着极其重要的角色，如环形器、移相器、隔离器等。传统意义的微波铁氧体器件大多是通过铁氧体块材制成，具有体积大、质量大、浪费材料等缺点，不能满足现代设备对器件的要求。与此同时，薄膜铁氧体器件因损耗低，可靠性好，易集成等特点而受到人们的广泛关注。经过多年研究，薄膜铁氧体器件的质量已经有了显著提高，但是由于铁氧体薄膜制备水平的限制，薄膜器件性能依然有许多需要改进的地方，比如器件损耗过大、工作带宽窄等。钇铁石榴石铁氧体（Y3Fe5O12，简称YIG)是最基本的石榴石型铁氧体材料，具有比法拉第旋转大、共振线宽小、介电损耗低等特点。YIG的这些特点能有效改善薄膜器件所遇到的问题。如何通过适当的镀膜工艺制备出高质量的YIG薄膜仍然值得深入研究。 本文以固相烧结法制备的YIG块材和脉冲激光沉积（pulsed laser deposition，简称PLD）法制备的YIG薄膜为研究对象，其中，YIG块材的研究为YIG薄膜的制备奠定坚实的基础。探究了制备条件对YIG材料微观形貌和磁学性能的影响。 一、利用固相烧结法制备了YIG块材，探究了球磨时间、预烧温度、烧结温度及保温时间对YIG块材的影响。研究发现，球磨24h，在1100℃预烧，1400℃烧结且保温6个小时制成的YIG块材，晶粒大小均匀、气孔少、无明显的二次生长现象发生、成单一的YIG相、高致密度、饱和磁化强度高达26.63emu/g，并且矫顽力仅有19Oe。 二、以YIG块材作为靶材，通过脉冲激光沉积法在MgO基片上制备YIG薄膜，探究了激光频率、氧气压强、沉积温度和退火处理对YIG薄膜的影响。研究发现激光频率10Hz，氧气压强1.5Pa，沉积温度700℃，经过750℃退火2个小时的YIG薄膜微观形貌和磁学性能良好。 三、在前两部分的基础上，通过PLD技术在MgO基片上制备YIG薄膜，薄膜微观形貌良好，无明显气泡或裂纹；无杂相；铁磁共振线宽小，共振吸收谱（420)峰的半高宽只有19Oe；饱和磁化强度数值达到136emu/cm3；各项性能都达到制备薄膜器件的要求。