激光驱动惯性约束聚变系统及高能量密度物理实验装置对超短超强激光的迫切需求使皮秒拍瓦级激光技术越来越受各个国家实验室和研究机构的重视。而为了适应高功率激光系统更高输出能量、更稳定输出性能和更精确输出落点的严格要求，超短超强激光精密束靶耦合技术也随之作为了研究重点。本文结合国内外先进高功率激光惯性约束装置进展，针对超短超强激光精密束靶耦合技术的需求与发展进行了全面分析，并立足于束靶耦合系统结构框架，重点分析和研究了超短超强激光靶场系统中的两个关键组成部分:离轴抛物镜和束靶耦合准直测量系统。通过追迹仿真获得了离轴抛物镜姿态对束靶耦合聚焦光斑的影响规律，为完善传统束靶耦合系统的不足，提出和验证了新的远近光场耦合准直测量方案并对束靶耦合系统整体进行了误差的推导分析。　　本文首先对国内外先进高功率激光惯性约束聚变系统的研究进程进行了总结和回顾，介绍了超短超强激光的重要性和应用需求，即快点火技术和先进辐照成像技术。以美国先进辐照成像系统为例，介绍了超短超强激光的靶场装置分布，强调了精密束靶耦合技术对超短超强激光系统的重要性。在对比和分析国内外惯性约束聚变和超短超强激光系统的发展进程后，提出了本文的研究意义、目的和内容。　　总结了超短超强激光束靶耦合过程中误差种类及特点，并详细分析了超短超强激光束靶耦合系统的各个误差对耦合精度产生的影响，获得误差普适性公式。针对误差分析结果，提出了束靶耦合技术中的研究重点，即离轴抛物镜姿态稳定性引起的束靶耦合误差和决定打靶误差与精度的准直测量系统。　　研究了超短超强激光精密束靶耦合技术中离轴抛物镜结构的稳定性对整个系统的影响。仿真分析了抛物镜离轴量、平移量和指向变化，从成像角度分析了离轴抛物镜各姿态变化对最终会聚光斑质量的影响规律，并强调了离轴抛物镜对其指向变化的极其灵敏性。　　最后，根据超短超强激光系统对束靶耦合技术的特殊需求，将基于二阶鬼像的远近光场耦合方案应用于高功率激光准直技术中，提出了新型远近光场耦合测量方案，减少了传统准直系统对空间的大量占用并提高了装配稳定性。自行设计并搭建出灵敏的小型准直光学系统。提出完备测试方案，实施并验证该方案的可行性，获得近场测量灵敏度为7.04μm/pixel，远场测量灵敏度为18.14”/pixel，并得到远场变化对近场影响，用以优化光束校准。针对该方案的特殊成像图案提出了图像算法策略。