阳极氧化铝模板(Anodic Aluminum oxide，AAO)是一种具有纳米孔径的透明模板，其孔径5～200姗，孔径尺寸均匀，孔密度109～1011个·cm-2，分布高度有序。近年来，具独特结构的阳极氧化铝膜正逐渐引起人们的重视。在光学元件、磁性材料、选择性吸收膜等功能材料方面，阳极氧化铝膜为模板具有广泛的应用前景。　　 论文较系统地研究了高度有序的多孔阳极氧化铝模板的制备工艺。通过正交试验法系统分析了AAO模板的电化学抛光，讨论了影响孔洞有序分布的各种因素。以二次阳极氧化的方法成功地制备出孔径尺寸、孔深可调可控、孔排列高度有序的高质量的多孔氧化铝阵列模板，并通过原子力显微镜(AFM)观察了在草酸体系中氧化膜纳米孔的形貌，同时，通过正交试验法深入研究了电解液浓度、阳极氧化电压、氧化温度、氧化时间、等工艺参数对多孔氧化铝膜的影响.　　 通过以上实验研究我们到以下结论：　　 (1)样品预处理过程，电化学抛光是最重要的一个环节，直接关系到氧化膜的质量。本实验通过正交试验法详细研究电化学抛光过程中，电流密度，抛光温度，抛光时间，对抛光质量产生的影响。通过实验研究，我们得到了在磷酸-硫酸-乙二醇体系的电化学抛光最佳工艺参数：电流密度25A/dm2，抛光温度70℃。抛光时间10min左右，外加机械搅拌为佳。　　 (2)AAO模板的厚度A由氧化电压，氧化温度，氧化时间，电解液浓度共同决定，并基本成线性关系。对AAO膜厚的影响，氧化电压>氧化温度)氧化时间)电解液浓度。　　 (3)AAO膜的有序化程度与多种因数有着很强的依赖关系，试验表明铝材的本身结构是一个主要影响因数，铝箔通常是多晶材料，晶粒边缘纳米孔份分布就不可能有序分布.氧化时间足够长能够对晶胞起重整作用，扩大无缺陷区域面积，从而降低缺陷和位错的数目.二次阳极氧化法是得到大面积有序孔的有效方法。　　 (4)模板孔径大小由电解液浓度，氧化电压，氧化时间及扩空时间共同决定。较理想的控制AAO膜孔径的方法是在得到有序化较佳的AAO膜基础上，通过控制扩孔时间来调节孔径大小.这样可以排除掉其它的影响因素得到有序化较佳的膜孔径可控的AAO模板。