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激光激励的快速高温MEMS热电偶静动态特性技术研究
【摘 要】
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温度测试在航空航天、工业生产和化工冶金等领域都有着十分广泛的应用,尤其是对高温、高压、高冲击等极端瞬态环境下的精准测温更具有极强的现实意义。热电偶以其独特的高上限、大范围的测温特点而成为瞬态高温环境中最常见的温度传感器之一,但是由于其存在的滞后性往往导致测温延迟,而造成测量结果不准确的问题。因此开展测温速度更快、性能更高的薄膜热电偶的研制以及静动态特性研究具有重要价值。针对当前国内外MEMS温度传
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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