Pb(Zr，Ti)O<,3>铁电电容器结构与性能研究

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【摘要】

：

采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在不同的基片、不同的电极上制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜,构造了不同的电容器结构,并进行了多种性能的检测和分析。采用一次退火研究了退火温度对PZT电容器性能的影响。结果表明：550℃为最佳退火温度,所制备的铁电电容器具有较大的极化强度。为降低退火温度,采用逐层退火制备了PZT薄膜,500℃所制得样品比相同温度下一次退火具有更好的铁电性。另外,在引入非晶

【作者】

：

程春生

【机构】

：

河北大学

【发表日期】

：

2007年06期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法 PZT 铁电电容器导电阻挡层

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