高气压及湿环境的动态扫描电子显微分析方法研究

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本文研究了高气压和“湿”环境扫描电子显微镜( SEM)的分析方法、实验技术和应用。研究工作包括:(1)构建了一个环境扫描电镜(ESEM)综合实验系统。(2)非导电样品中出现的电子镜现象及应用;(3)在高气压环境中,对荷电样品进行X射线元素分析(EDS)的补偿和校正方法;(4)在水“湿”环境中,含水样品的观察:(5)溶水晶体的原位溶解-结晶;生长速率和形态与水“湿”环境的关系;(6)晶体的原位化学反应。 本文构建了一个以环境扫描电镜(ESEM)为基础,配置了微操纵和微注入(MMI/MIS)系统、样品电流Isc测试系统,以及加热和制冷装置。实测了MMI/MMS系统的性能参数,包括MMI的纳米位移精度,MIS的液滴注入尺寸、速率和临界压力。 本文研究了荷电效应在绝缘样品H3BO3、(NH4)3PW40O12(H2O)9和SiO2中产生的电子镜现象。观测和分析了出现电子镜像和稳定形成电子镜像的条件。当加速电压V0下降,表面电势Es稳定在7~9 kV时,出现电子镜像。当V0降至~5 kV,Vs~4.5 kV,电子总发射系数σ()1,样品电流Isc()0,形成稳定而清晰的电子镜像。电子镜像所对应的V、Isc值,以及非导电样品电子镜像的质量反映出材料的导电性能。由此求出表征荷电平衡的入射电子的临界能量E2:H3BO3、SiO2和(NH4)3PW40O12(H2O)9样品的E2值,分别为0.38、0.54和0.50 kV。 本文研究了荷电效应和电子裙散效应对非导电样品X射线能量分散谱分析(EDS)造成的误差。评价了在高气压环境中进行EDS测试的补偿和校正方法。在低气压中,荷电效应使落地电势E1降低,导致氧元素的EDS检测值明显高于其化学剂量值。在高气压环境中,荷电效应消除,使EDS的测量误差减小到3%。误差来源主要来自气体分子对电子束和低能X-射线的散射作用。在高气压中(10~130 Pa)采用X-射线压力限制光阑杯,明显减小了裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小到0.4%。 本文研究了观察含水样品的环境条件。采用调整压力和温度,以及液体微注入的方法,使样品保“湿”。在-2~+5℃、400~800 Pa和RH46~66%的水湿环境中,观察了植物、高分子表面活性剂、水泥、微生物等“湿”样品在自然状态下、或在水湿环境中的真实形貌和结构。观察的样品包括:花瓣的气孔、小麦颗粒的细胞、芹菜根部的孔状结构、沙枣树叶的表面结构、表面活性剂的胶束结构、“湿”水泥形貌,以及活性微生物。 原位观察了水溶性晶体NaCl和KH2PO4的溶解—结晶过程。研究了水湿环境对水溶性晶体生长速率和结晶形态的影响。通过调整ESEM样品室的压力和温度,配合使用微操纵/微注入的方法,控制水的蒸发—凝结状态、相对湿度φ及溶液的过饱和度。NaCl晶体在450~650 Pa,0~6℃,φ=74~77%时溶解;φ=72~75%时结晶。生长速率在温度从4℃升高到8℃、压力从540Pa下降到480 Pa时,从2.35×10-6m/s增加到4.03×10-6m/s。当φ=65~72%,有利于生成具有较规则外形的单晶体;当φ=4~23%,晶体趋向一维生长;当φ值在两者之间,多形成细小或不规则的多晶体。KH2PO4多晶小颗粒在φ=95%时,以2.01×10-8 m/s的速率,形成典型的四方柱和四方锥的组合单晶体。 本文采用2个液体微注入系统,使NH4VO3和Bi(NO3)3溶液,在700 Pa和4℃条件下原位反应,生成BiVO4八面体。 ESEM为观察非导电样品和含水样品、动态研究溶水性晶体的生长特征,材料与环境的相互作用,原位化学反应的提供了先进的技术和方法。
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