目前光栅参数的测量大体可分两种方法:直接用仪器对光栅的某些参数进行测量的直接测量法和借助优化算法迭代搜索光栅参数的间接测量法。但前者存在仪器比较昂贵、操作技术要求高、测量参数有限、对样品有不同程度损害等缺点。随着优化算法的完善和发展,间接测量法越来越受到人们推崇,至今,在理论上已实现了用椭偏法测量光栅参数。但因光栅椭偏参数对光栅参数非常敏感,且在实验中精度难以达到要求,因而日前未见此方法的相关实验报道。光栅的透射光谱测量简便,数据稳定、精确,我们在实验中已初步成功的利用透射光谱测量出体积相位全息光栅参数。此方法借助计算机来获取和处理数据,对衍射光栅的透射光谱进行动态实时记录,不但提高了实验数据的精确度,而且减轻了实验者的劳动强度,提高了实验的智能化。另外该法具有无损伤、无扰动、易推广等优点。 抗反射膜主要用在材料表面减少对光的吸收,目前主要有多层抗反射膜及亚波长光栅抗反射膜两类,但它们均存在制作工艺复杂,适用波长单一,入射角范围小,普适性差等缺点,大大限制了它们的应用,增加抗反膜的应用成本。基于此,我们利用等效介质理论及优化设计思想从理论上设计了出一种适用于宽角度宽波长的双材料嵌套全抗反射膜。 本论文的主要工作:利用傅立叶模式理论得出几种光栅的透射光谱图,通过加高斯噪声来模拟实验中的测量光谱图,根据评价函数,选择出合适的反演算法,确定出参数的范围,搜出待测参数的值;提出用衍射正负一级的比值代替单一级次来反演光栅参数,进一步减弱对光栅本身误差