随着科技的快速发展，人们对机械产品质量的要求日益增高，产量逐渐增大，使得人们对于机床的加工精度、负载能力、工作性能等要求也越发苛刻。因此，超精密机床在军事、航天、船舶以及其他民用工业领域都得到了广泛应用。导轨是机床的重要组成部分，其性能直接影响机床的运动精度、加工能力和刚度。在决定超精密机床性能的诸多因素中，起主导作用的是其关键部件的性能。其中，导轨是直接保证超精密机床各运动部件之间相对运动精度和相对位置精度的重要部件。随着各种导轨的应用及研究，液体静压导轨因其具有承载能力大、摩擦力小、减振效果好、运动均匀等优点，而被广泛应用于重载机床中。本文主要研究静压导轨在超精密机床上的应用，并针对静压导轨进行结构设计和静动态性能分析，来预测超精密机床中导轨的动态性能，从而能够有效的指导静压导轨设计。本课题的主要研究内容如下：（1）通过对不同类型的静压导轨进行基本结构和工作原理的比较，根据实验平台的设计要求，对静压导轨进行结构设计、工作参数选择、供油系统搭建及实验测试方案设计。（2）对静压实验平台进行有限元静力分析，分别对静压导轨实验平台的各功能部件进行静力分析，以保证导轨在运行过程中不会出现过度变形及断裂等问题。并对油膜刚度进行分析，以保证导轨的负载能力和运动平稳性。（3）对静压实验平台进行有限元动态分析，分别针对导轨的模态、压力及温度进行了有限元仿真。以获取导轨的最佳运动状态。