随着光学、光电子学和数码产品的蓬勃发展,K9光学玻璃已在很多领域得到了广泛的应用,对其表面质量提出了严格的要求,并要求较高的加工效率。由于K9玻璃属于硬脆材料,在加工过程中极易发生脆性破坏,传统加工技术难以获得超光滑高质量的表面。近年来,固结磨料化学机械抛光技术以其工艺可控性强、加工效率高、加工成本低以及绿色环保等一系列优点受到越来越多的关注。本文围绕典型光学材料K9玻璃的研磨和抛光过程,探索工艺参数对材料加工性能的影响,以达到提高产品加工效率和表面质量的目的,同时也为推进固结磨料研磨抛光技术产业化的进程打下基础。论文的研究工作包括以下几个部分:1.介绍了固结磨料研磨抛光垫的制备过程、试验装置及检测指标。进一步完善了抛光垫的制备工艺,并从工件的装夹与卸片、实验设备和加工性能指标检测三个方面对K9光学玻璃研磨抛光过程进行了研究。2.研究研磨工艺参数对材料的去除率和表面质量的影响。通过合理的选择主轴转速、研磨压力、偏心距和磨粒粒度工艺参数,并进行正交试验参数优化,系统分析了各参数对研磨效果的影响,得到了影响因素的主次关系,为研磨工艺的合理选择提供依据。3.开展了固结磨料抛光垫抛光K9玻璃的工艺研究。分别研究了不同磨粒种类固结磨料抛光垫的抛光过程,并分析了主要工艺参数对材料去除率及三维表面粗糙度的影响规律。获得了固结磨料抛光垫的最佳抛光参数组合,为该工艺的拓展应用开展了积极探索。4.通过差动蚀刻速率法测量K9光学玻璃亚表面损伤层深度,比较相同粒径条件下游离磨料和固结磨料研磨对亚表面损伤的影响,分析了游离磨料和固结磨料产生亚表面损伤不同的原因,探讨了其亚表面损伤形成机理。