【摘 要】
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光罩在晶圆厂的日常使用中会因为环境、光罩存储方式等因素的影响产生雾状缺陷(Haze),目前在全世界范围内还是个无法避免和解决的课题。在晶圆厂内,Haze的产生是正常现象并不
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光罩在晶圆厂的日常使用中会因为环境、光罩存储方式等因素的影响产生雾状缺陷(Haze),目前在全世界范围内还是个无法避免和解决的课题。在晶圆厂内,Haze的产生是正常现象并不可怕,真正对生产上有影响的是Haze的光罩没有被及时发现,仍在使用造成产品因为光罩Haze的影响而造成良率的损失以及光罩因Haze去送修造成产品生产周期的延迟。所以目前国内外对于Haze的研究也大部分都集中在如何及时发现Haze,降低影响。本文研究目标是通过对现有光罩管理系统的分析来发现其中会对光罩产生Haze的隐患,并对此进行优化来降低光罩产生Haze的几率。作者通过实验建立起严格的光罩检测机制和优化光罩盒的管理系统来及时发现光罩Haze,降低Haze对产品良率的影响。
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