【摘 要】
:
激光剥离技术是现阶段获得紫外LED外延片的热门方法,它在获得异质外延片的过程中有其它蚀刻方法所不具备的优势。本文研究了不同激光脉冲对GaN材料的影响,获得了准分子激光在
论文部分内容阅读
激光剥离技术是现阶段获得紫外LED外延片的热门方法,它在获得异质外延片的过程中有其它蚀刻方法所不具备的优势。本文研究了不同激光脉冲对GaN材料的影响,获得了准分子激光在异质外延膜剥离过程中的作用参数。针对紫外发光GaN外延膜提出了不同的剥离方法,以及现在阶段用激光剥离技术生产紫外发光二极管的实际应用,并对剥离前后GaN膜的光学性质进行了分析。获得了准分子激光剥离的最佳条件。通过600mJ/cm2,38ns,10Hz,248nm的KrF准分子激光器得到直径7.5mmm的GaN外延膜。研究了剥离后薄膜表面的粗糙度,以及解决粗糙度的方法。
其他文献
过渡金属(氢)氧化物纳米材料具有丰富的形态、多变的结构,因而在电催化、电分析以及超级电容器等领域有着广阔的应用前景。设计过渡金属(氢)氧化物纳米材料新的合成路线,探究材料
本文主要包括两个研究课题,即水稻分蘖调控基因TE的功能分析和类病变突变体lms1的图位克隆。分蘖是影响水稻形态建成和作物产量的一个重要农艺性状,其发育过程受多个遗传途径的
左手材料是一种重要的新型功能材料,它具有负值的介电常数和磁导率独特而新颖的性质,即具有双负属性。正因为具有双负性质,电磁波在左手材料中传播,将会出现一些异常的电磁性
集成电路工艺经过近40年的发展,取得了很大的成功。随着器件尺寸的不断缩小,硅平面技术将很快走到它的性能极限。人们开展了大量的研究工作,寻找传统CMOS技术的替代技术。在
传统上,四川一直是我国的大西南地区茉莉花(茶)的主要生产区域之一,茉莉花(茶)的种植和生产在该地区有着较为悠久的历史。但是,尽管如此,茉莉花产业在该地区至今却还是比较粗放的
目的 分析YAG激光联合牙周基础治疗对牙周炎的临床治疗效果。方法 采取单双数球抽签的方式将我院在2016年7月~2017年7月期间收治的24例牙周炎患者分为两组,对照组(牙周基础治
光纤光栅传感器作为一种新型的无源器件,非常适合于高压开关柜内特殊环境下的测温。本课题针对于目前开关柜测温中存在的问题,对光纤光栅测温的技术进行研究,在VxWorks系统下
通过应用季节性(时间)强度指数、月际变动指数和地理集中指数,对湖南入境旅游客源市场2004年至2013年统计数据进行分析发现,湖南省入境旅游客源在时间上受季节变化影响严重、
主要讲两个方面内容:第一个方面,实施乡村振兴战略必须抓住三个关键。第一个关键是全面深化农村改革。当前中国农村发展已经进入了全面转型、全面深化改革的新阶段。现在农村